Plaqeya cilalkirina waferê ya seramîk a alumînaya paqijiya bilind çi ye?

Bi pêşveçûna bilez a pîşesaziya nîvconductoran re, pîvana pîşesaziyê bi lez zêde bûye, û alavên çêkirina nîvconductoran berdewam bûne ber bi rastbûn û tevliheviyê ve. Ji ber ku seramîk xwedî avantajên hişkbûna bilind, modula elastîk a bilind, berxwedana bilind a li hember aşînê, îzolekirina bilind, berxwedana korozyonê, berfirehbûna kêm û hwd. ne, ew dikarin wekî parçeyên makîneya cilalkirina silîkonê, alavên dermankirina germê ya epitaksiyal/oksîdasyon/belavbûnê, makîneya lîtografiyê, alavên danînê, alavên gravkirina nîvconductoran, makîneya çandina îyonan û alavên din werin bikar anîn, ji ber vê yekê lêkolîn û pêşkeftin û hilberîna parçeyên seramîk ên rast rasterast bandorê li pêşkeftina pîşesaziya nîvconductoran dike. Pêdiviyên teknîkî yên amadekirina wê her ku diçe bilindtir dibin.

Alumînaya paqijiya bilind, 99.7%-99.9% alumîna.
Hêza mekanîkî ya bilind, berxwedana bilind a lixwekirinê, îzolasyona elektrîkê ya bilind, aramiya kîmyewî ya bilind, berxwedana germê ya baş û berxwedana korozyonê. Niha, karanîna wafera silîkonê ya nîvconductor a hûrkirina seramîk rêbaza hûrkirina herî pêşkeftî û pêşketî ye. Pêvajoya hûrkirina du alî ji bo hûrkirina wafera silîkonê ya birrî tê bikar anîn, û kalîteya wafera hûrkirinê bi baştirkirina pêvajoya hûrkirinê (materyalê dîskê, şilava hûrkirinê, zexta hûrkirinê û leza hûrkirinê, hwd.) tê baştir kirin. Bi taybetî, karanîna plakayên seramîk li şûna plakayên hesinî yên avêtin, ji bo dûrketina ji hûrkirina li ser rûyê sereke yê waferê ji ber birîn an qirêjiyê, kêmkirina ketina îyonên metal, dikare pêvajoya paşîn a silîkonê kêm bike, dema pêvajoya paşîn (korozyon) kurt bike, karîgeriya hilberînê baştir bike, û windabûna pêvajoya silîkonê kêm bike, karanîna silîkonê pir baştir bike.

Plaqeya cilalkirina waferê ya alumînaya bilindDi pîşesaziyên nîvconductor, petrol, kîmyewî, fotovoltaîk, krîstala şil û pîşesaziyên din de tê bikar anîn, wek beşên mekanîkî, beşên elektronîkî, dîska înduksîyonê ya mîkropêlê, materyalên îzolekirinê û beşên din, cîhazên nîvconductor, alavên valahiyê, alavên çêkirina krîstala şil û beşên din. Seramîkên alumina yên mezin û paqijiya bilind di pîşesaziya safîr û pîşesaziya çîpa nîvconductor de xwedî nirxek serîlêdanê ya girîng in. Ew piştgiriyek sereke û vexwarinek e ji bo cilandina mekanîkî ya kîmyewî (CMP) ya waflên silîkonê yên safîr û nîvconductor. Seramîkên alumina yên mezin û paqijiya bilind dikarin wekî substratek alumina ji bo LCD-yê jî werin bikar anîn.